Na extrémní ultrafialovou litografii (EUV) čekáme už pěknou řádku let. Loni v létě se konečně hnuly ledy, když ASML přišlo už s použitelnými výrobními stroji, ovšem dalo se tušit, že se tím tato trnitá cesta najednou nezmění v procházku sadem.
28.2.2018, Jan Vítek, aktualita
Čistě teoreticky, jestli se někdo nepokusil použít rentgenové paprsky. Máme materiály kterými prochází, máme materiály které je pohlcují, fotocitlivé materiály na ně reagují, alespoň některé.. Víme toho o něm dost víc než o EUV, které neprochází atmosférou a máme k dispozici i docela silné výbojky. Plus má ještě podstatně nižsí vlnovou délku, takže by mělo mít o dost lepší rozličení. Ale nějak se mi nevede zjistit, jestli to někdo zkoumal nebo ne.
Odpovědět0 0
určitě ano a už je to hodně dlohá doba ... neznám podrobnosti, ale pravdepodobně bude s RTG litografií velký problém, když se jí nevěnují ... tady je zajímavá ale "obstarožní" bakalářská práce ...https://www.vutbr.cz/www_base/zav_prace_soubor_verejne.php?file_id=42876
Odpovědět0 0
už jsem asi něco našel... vlastně tady je zdroj ... http://www.ece.umd.edu/class/enee416/GroupActivities/Ebeam.pdf
Odpovědět2 0
Děkuji, zajímavé počtení.
(klid, pokusničit s tím doma nehodlám. Napětí nad 30 KV a rentgenové záření v rukou amatéra nesvědčí zdraví :)
(klid, pokusničit s tím doma nehodlám. Napětí nad 30 KV a rentgenové záření v rukou amatéra nesvědčí zdraví :)
Odpovědět3 0
Zajímá Vás tato diskuze? Začněte ji sledovat a když přibude nový komentář, pošleme Vám e-mail.
Nový komentář k článku
Pro přidání komentáře se přihlaste (vpravo nahoře). Pokud nemáte profil, zaregistrujte se pro využívání dalších funkcí.
reklama
reklama
Z dalších serverů
