V roce 2023 odstartuje éra nové generace EUV strojů od ASML

Společnost ASML dnes jako jediná vyrábí stroje, které je možno nasadit v praxi při výrobě čipů pomocí extrémní ultrafialové litografie. Vyvíjí přitom už další generaci, kterou lze označit jako výbavu s optikou s NA 0,55 namísto dnešních 0,33. Mělo by jít o novou řadu skenerů EXE:5000.

 

 

NA je zkratka pro číselnou/numerickou aperturu, která značí schopnosti optiky s ohledem na rozlišovací schopnosti, hloubku ostrosti a množství světla, které jí prochází a vyjadřuje se bezrozměrnou hodnotou. High-NA jsou pro ASML stroje právě alespoň s 0,55 a low-NA mají 0,33.

 

První EUV stroje od ASML začaly být využívány ve výrobě v roce 2017 a v roce 2023 má nastoupit jejich další generace s High-NA optikou. Právě díky tomu se budou moci posunout dnes platné hranice pro výbavu, se kterou by výrobci čipů nemohli jít za cca 2nm procesy. Díky novým EUV strojům tak bude možné pokračovat s vývojem dalších procesů tvořících ještě menší tranzistory. Pro High-NA verze se také počítá s mnohem vyšším výkonem zdroje EUV záření, a to kolem 500 W, což umožní i celkově zefektivnit výrobu. 

 

Během příštího roku bude ASML se svými partnery testovat prototypy chystaných EUV strojů, přičemž tím, kdo je má jako první nasadit ve výrobě, má být Intel a právě v roce 2023. Právě to spadá do jeho plánu dostat se zpět do vedoucí technologické pozice mezi výrobci čipů. 

 

Jinak má ale o novou výbavu pro EUVL eminentní zájem především firma TSMC, která aktuálně provozuje ze všech v oboru nejvíce EUV strojů. Další pak budou potřeba především pro dvě plánované GigaFab určené pro 2nm proces, nicméně v tu dobu by už mohl být ve výhodě právě Intel, který se rozhodl velice brzy skočit po High-NA výbavě. 

 

Není tak divu, že ASML očekává svůj prudký růst během několika příštích let. Dříve také firma hlásila, že má vyhlídky na dosažení tržeb mezi 17 až 28 miliardami dolarů, ale nyní už mluví o 28 až 35 miliardami s hrubou marží mezi 54 a 56 procenty. Ostatně jeden EUV skener dnes přijde na cca 150 milionů dolarů a to pak bývají velice hodnotné objednávky. 

 

Zdroj: ASML