Zpět na článek

Diskuze: "Spásná" technologie EUV má problémy s defekty a zatím neexistuje jasné řešení

Nejsi přihlášený(á)

Pro psaní a hodnocení komentářů se prosím přihlas ke svému účtu nebo si jej vytvoř.

Rychlé přihlášení přes:

wrah666

Level

28. 2. 2018 23:22

Komentáře tohoto uživatele máš zablokované.

Čistě teoreticky, jestli se někdo nepokusil použít rentgenové paprsky. Máme materiály kterými prochází, máme materiály které je pohlcují, fotocitlivé materiály na ně reagují, alespoň některé.. Víme toho o něm dost víc než o EUV, které neprochází atmosférou a máme k dispozici i docela silné výbojky. Plus má ještě podstatně nižsí vlnovou délku, takže by mělo mít o dost lepší rozličení. Ale nějak se mi nevede zjistit, jestli to někdo zkoumal nebo ne.

GogoX

Level

1. 3. 2018 08:08

Komentáře tohoto uživatele máš zablokované.

@wrah666 určitě ano a už je to hodně dlohá doba ... neznám podrobnosti, ale pravdepodobně bude s RTG litografií velký problém, když se jí nevěnují ... tady je zajímavá ale "obstarožní" bakalářská práce ...https://www.vutbr.cz/www_base/zav_prace_soubor_verejne.php?file_id=42876